主要な懸念事項への対応
製品バッチ間の品質は均一ですか?不純物は厳密に管理されていますか?純度は貴社のプロセス要件を満たしていますか?以下の技術データは、評価のための直接的な参考資料としてご活用ください。
I. 代表的な技術データシート(TDS)
1. 超高純度結晶性ホウ素(6Nグレード)
| アイテム | 仕様 | |
| 純度 | ≥ 99.9999% | |
| 総金属不純物 | < 1.0 ppm | |
| 要素 | 制限 | 試験方法 |
| Al | ≤ 0.4 ppm | ICP-MS |
| As | ≤ 0.5 ppm | ICP-MS |
| Cr | ≤ 0.2 ppm | ICP-MS |
| Cu | ≤ 0.3 ppm | ICP-MS |
| Fe | ≤ 0.9 ppm | ICP-MS |
| K | ≤ 0.7 ppm | ICP-MS |
| Mg | ≤ 0.5 ppm | ICP-MS |
| Na | ≤ 0.5 ppm | ICP-MS |
| Ni | ≤ 0.1 ppm | ICP-MS |
| Pb | ≤ 0.1 ppm | ICP-MS |
| Sb | ≤ 0.1 ppm | ICP-MS |
| 粒子サイズ | 1~10 mm(≥500 µm) | -- |
| 結晶相 | β-菱面体 | X線回折 |


2. 非晶質ホウ素粉末(3Nグレード)
| アイテム | 仕様 |
| 純度 | 99.9%以上 |
| 粒子サイズ | 500 µm – 5 mm |
| 結晶構造 | α-正方晶(非晶質) |
3. 濃縮三フッ化ホウ素11(¹¹BF₃)
| アイテム | 仕様 |
| ¹¹B同位体存在比 | 99.9原子%以上 |
| 化学的純度 | ≥ 99.999% |
| 個々の不純物(N₂ / O₂ / Ar / CO₂ / SO₂ / HF / SiF₄) | それぞれ25 vppm以下 |
II. 標準的な分析証明書(CoA)のテンプレート
各製品ロットには、客観的で追跡可能な試験データを保証するため、認定を受けた第三者機関の研究所が独自に発行した完全な分析証明書(CoA)が添付されます。
| テスト項目 | 標準要件 | 実際の測定値 |
| ホウ素の純度 | ≥ 99.9999% | ≥ 99.9999% |
| 総金属不純物 | < 1.0 ppm | < 0.5 ppm |
| 結晶相 | β-菱面体 | β-菱面体 |
| 粒子サイズ | 1~10 mm(≥500 µm) | 準拠 |
III.純度向上ロードマップ:2Nから6Nまでの不純物制御の比較
お客様のプロセス要件に応じて、工業用グレードから半導体グレードまで、幅広いグレードからお選びいただけます。
| 学年 | 純度 | 総不純物量 | Fe | Al | Cu | Cr | Ni | Pb |
| 2N | 99% | ≤ 10,000 ppm | 500 | - | 12 | - | - | - |
| 3N | 99.9% | ≤ 1,000 ppm | 200 | - | 10 | - | - | - |
| 4N | 99.99% | ≤ 100 ppm | 90 | - | 0.1 | - | - | - |
| 5N | 99.999% | ≤ 10 ppm | 8 | - | 0.03 | - | - | - |
| 6N | 99.9999% | < 1.0 ppm | 0.9 | 0.4 | 0.3 | 0.2 | 0.1 | 0.1 |
IV. 技術文書のダウンロード
全製品ラインのTDS、CoAテンプレート、およびMSDSファイルは、弊社公式サイトの技術文書ダウンロードセンターからダウンロードできます。特定のバッチのオリジナルCoA文書をご希望の場合は、弊社営業チームまでお問い合わせください。
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